軸承是機(jī)械工業(yè)中常用的一種滑動(dòng)機(jī)件,材質(zhì)上又有金屬、非金屬、復(fù)合材料之別。石墨軸承則是隨著機(jī)械設(shè)備的性能要求,在金屬軸承的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)并發(fā)展起來(lái)的碳質(zhì)軸承,以石墨材料為主要基材。
Learn More一、作為熱場(chǎng)材料
坩堝方面:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,高純石墨常被用作坩堝材料。由于其高純度的特性,能夠減少雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體材料的污染,從而確保半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。同時(shí),高純石墨具有高熱導(dǎo)率,能夠有效地傳導(dǎo)熱量,滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)溫度控制的嚴(yán)格要求,例如在晶體生長(zhǎng)等高溫制程中,能使熱量均勻分布,保障晶體生長(zhǎng)的穩(wěn)定性和質(zhì)量。
加熱器方面:高純石墨可制作加熱器用于半導(dǎo)體制造。它的高熱導(dǎo)率可以快速將熱量傳遞到需要的部位,而且高純度保證了在加熱過(guò)程中不會(huì)釋放出雜質(zhì)影響半導(dǎo)體的性能。其良好的耐高溫性也能適應(yīng)半導(dǎo)體制造中的高溫環(huán)境,確保加熱功能的穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)。
二、在集成電路制造中的應(yīng)用
印刷電路板導(dǎo)電材料:在集成電路的印刷電路板(PCB)制造中,高純石墨可以作為導(dǎo)電材料。它的低電阻率使其具有優(yōu)良的導(dǎo)電性能,能夠有效地傳輸電子信號(hào),保障集成電路的正常運(yùn)行。此外,其化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)良,可以在復(fù)雜的化學(xué)環(huán)境下保持性能穩(wěn)定,不易發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而損壞電路。
封裝材料:高純石墨還可用于集成電路的封裝。在封裝過(guò)程中,高純石墨能夠提供良好的散熱性能,幫助集成電路散發(fā)工作時(shí)產(chǎn)生的熱量,防止因過(guò)熱而導(dǎo)致的性能下降或損壞。并且其自身的穩(wěn)定性和純度也有助于保護(hù)芯片免受外界環(huán)境的干擾,如防止?jié)駳狻⒒覊m等對(duì)芯片的侵蝕。
耐磨抗氧化涂層是由高性能碳化硅用cvd的方式附著在石墨表面進(jìn)行復(fù)合得到的高性能耐磨抗氧化材料。廣泛用于因沖蝕、氣蝕和高溫所需要的高性能材料,也用于在有耐磨、防腐要求的機(jī)件表面制備耐磨防腐涂層。
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